
源要求
85V ac 到 264V ac, 47 Hz 到 440 Hz, 最大功耗 18 VA
标称工作温度量程
15℃ 到 30℃(59℉ 到 86℉)
储存温度量程
-20℃ 到 70℃(-4℉ 到 158℉)
震动符合 MIL-T-28800D 标准
通讯端口
RS-232 (COM1), RS-232 (COM2), IEEE-488.2
压力连接(molbox1+ 与 molbloc)
快速连接口,等同于 Swagelok® QM 串口 (SS-QM2-B200)
流量量程 <1 sccm 到 >5000 slm
请参见 molbloc-L 与 molbloc-S 的不同量程表
流量测量速率 1 秒
支持气体
氮气 (N2)、空气、氩气 (Ar)、一氧化碳 (CO)、氦气 (He)、氧气 (O2)、二氧化碳 (CO2)、四氟化 (CF4)、乙烷 (C2H6)、乙烯 (C2H4)、三氟甲 (CHF3)、六氟代乙烷 (C2F6)、氢气 (H2)、甲烷 (CH4)、一氧化二氮 (N2O)、丙烷 (C3H8)、六氟化硫 (SF6)、丁烷 (C4H10)、氟环丁烷 (C4F8)、氙气 (Xe)
准确度:
±0.1% FS(设定)、±0.05% FS(测量)
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